Produktbeskrivning
- X-mätområde (detektorn) 200 mm
- Y-mätområde (drivenheten) 1000 μm
- Noggrannhet X-axeln 0.5 μm/200 mm
- Noggrannhet Y-axeln 0.5 μm/50 mm
- Mätningseffektivitet förbättras genom multi-axel-styrning
- Integrerad rotationsmekanism för sensorn säkerställer mätning i alla riktningar
- X- (200 mm) och Y-axelns (50 mm) drivenhet är integrerad i en enda konstruktion
- Linjär motordrift (X-axel) med låga vibrationer